发明名称 | 一种单晶炉的石墨热场 | ||
摘要 | 本发明提供了一种单晶炉的石墨热场,包括保温筒、导流筒、加热器,所述保温筒上设有多个排气孔,其中,所述导流筒由导流内层和导流外层组成,所述导流内层与所述导流外层之间设有间隙,由于所述导流筒由导流内层和导流外层组成,所述导流内、外层之间设有间隙,减少热场的散热,使热量以热辐射的形式传输,节省了电能消耗,大大加快速了单晶硅生长速度。 | ||
申请公布号 | CN101935870A | 申请公布日期 | 2011.01.05 |
申请号 | CN201010510166.X | 申请日期 | 2010.10.18 |
申请人 | 镇江辉煌电子有限公司 | 发明人 | 朱朝平 |
分类号 | C30B15/14(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/14(2006.01)I |
代理机构 | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人 | 季萍 |
主权项 | 一种单晶炉的石墨热场,包括保温筒、导流筒、加热器,所述保温筒上设有多个排气孔,其特征在于,所述导流筒由导流内层和导流外层组成,所述导流内层与所述导流外层之间设有间隙。 | ||
地址 | 212211 江苏省镇江市扬中油坊镇工业区688信箱 |