发明名称 一种单晶炉的石墨热场
摘要 本发明提供了一种单晶炉的石墨热场,包括保温筒、导流筒、加热器,所述保温筒上设有多个排气孔,其中,所述导流筒由导流内层和导流外层组成,所述导流内层与所述导流外层之间设有间隙,由于所述导流筒由导流内层和导流外层组成,所述导流内、外层之间设有间隙,减少热场的散热,使热量以热辐射的形式传输,节省了电能消耗,大大加快速了单晶硅生长速度。
申请公布号 CN101935870A 申请公布日期 2011.01.05
申请号 CN201010510166.X 申请日期 2010.10.18
申请人 镇江辉煌电子有限公司 发明人 朱朝平
分类号 C30B15/14(2006.01)I 主分类号 C30B15/14(2006.01)I
代理机构 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人 季萍
主权项 一种单晶炉的石墨热场,包括保温筒、导流筒、加热器,所述保温筒上设有多个排气孔,其特征在于,所述导流筒由导流内层和导流外层组成,所述导流内层与所述导流外层之间设有间隙。
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