基板传送用机械手

摘要

提供一种基板传送用机械手(3)，即使在基板(S)产生弯曲，也能稳定地支撑基板(S)。在机械手(3)的上表面设有供基板(S)的下表面外周部落座的第一落座面(6)，在其外周形成向上方的阶梯部(8)。在阶梯部(8)上，有阶梯状的多个台阶(8a、8b、8c)。并且，在从第一落座面(6)向内侧分离的机械手(3)的上表面部分，设有基板(S)向下方以凹陷状弯曲时供基板(S)的下表面落座的第二落座面(9)，该第二落座面(9)朝向基板(S)的中心向下方倾斜。

主权项

一种基板传送用机械手，其设在用于传送基板的传送机器人上，以载置的状态支撑基板，其特征在于，在机械手的上表面设有供基板的下表面外周部落座的第一落座面，在该第一落座面的外周形成朝向上方的阶梯部，并且在从基板的外周部分离的机械手的上表面部分，设有当基板朝向下方以凹陷状弯曲时供基板的下表面落座的第二落座面，该第二落座面朝向基板的中心向下方倾斜。