| 发明名称 | 用于保存排放热能量的系统及方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了在电子装置制造设备中保存能量的方法、设备和系统。根据本发明的一个方面，提供一种电子装置制造系统，其包括一个或多个处理腔室；一个或多个消减工具；两个或更多的排放导管，其将该一个或多个处理腔室连接至该一个或多个消减工具；管道，其适于容纳该两个或更多排放导管的至少二者的一部分；以及一个或多个加热元件，其适于加热位于该管道内的该两个或更多导管。 | ||
| 申请公布号 | CN101939817A | 申请公布日期 | 2011.01.05 |
| 申请号 | CN200980104042.7 | 申请日期 | 2009.02.03 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 菲尔·钱德勒 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 王安武;南霆 |
| 主权项 | 一种电子装置制造系统，包括：一个或多个处理腔室；一个或多个消减工具；两个或更多的排放导管，其将所述一个或多个处理腔室连接至所述一个或多个消减工具；管道，其适于容纳所述两个或更多排放导管的至少二者的一部分；以及一个或多个加热元件，其适于加热位于所述管道内的所述两个或更多导管。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||