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发明名称
摘要
申请公布号 JP4604462(B2) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 JP20030161493 申请日期 2003.06.06
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;H01L21/00 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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