一种微型光谱仪

摘要

本实用新型公开了一种微型光谱仪，该光谱仪由光纤连接器、入射狭缝、反射镜、闪耀光栅、聚焦镜和探测器组成。待测光信号由光纤连接器接入光谱仪，入射狭缝位于光纤连接器后部，光信号经由入射狭缝入射到反射镜上，反射镜反射光信号至闪耀光栅，闪耀光栅将入射光信号分解成不同波长的单色光，单色光入射到聚焦镜上，由聚焦镜会聚并反射到探测器上，实现全光谱的扫描。所述反射镜以硅为原材料，应用微电子机械系统技术(MEMS)制造而成。硅制微镜共振频率为540Hz，解决了现有高分子微镜的摆动状态对环境温度极其敏感，造成光谱仪系统波长准确性和稳定性随环境温度发生漂移、热稳定性差的技术问题。

主权项

一种微型光谱仪，该光谱仪由光纤连接器(1)、入射狭缝(2)、反射镜(3)、闪耀光栅(4)、聚焦镜(5)和探测器(6)组成；待测光信号由光纤连接器(1)接入光谱仪，入射狭缝(2)位于光纤连接器(1)后部，光信号经由入射狭缝(2)入射到反射镜(3)上，反射镜(3)反射光信号至闪耀光栅(4)，闪耀光栅(4)将入射光信号分解成不同波长的单色光，单色光入射到聚焦镜(5)上，由聚焦镜(5)会聚并反射到探测器(6)上，探测器(6)放置于聚焦镜(5)会聚焦点处，探测器(6)测量接受的单色光的强度；反射镜(3)作周期性运动，使得入射光信号在闪耀光栅(4)上的入射角度和各入射光信号中的单色光的空间排列位置呈周期性变化，各种波长的单色光经聚焦镜(5)会聚后，依次进入探测器(6)中，实现全光谱的扫描，其特征在于，所述反射镜(3)以硅为原材料，应用微电子机械系统技术MEMS制造而成，硅制反射镜(3)以540Hz的共振频率作周期性运动。