发明名称 Verfahren zur Bewertung der Güte und Eignung von Waferspannvorrichtungen
摘要
申请公布号 DE10145187(B4) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 DE20011045187 申请日期 2001.09.13
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ERB, HANS-PETER;BIERINGER, FRITZ;STEINKIRCHNER, ERWIN;MAERITZ, JOERN
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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