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发明名称 VERFAHREN ZUR ERHÖHUNG DER UMWANDLUNGSEFFIZIENZ EINER EUV- UND/ODER WEICHEN RÖNTGENSTRAHLENLAMPE UND ENTSPRECHENDES GERÄT
摘要
申请公布号 DE602007010765(D1) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 DE20076010765T 申请日期 2007.05.08
申请人 PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH 发明人 JONKERS, JEROEN;VAUDREVANGE, DOMINIK MARCEL
分类号 H05G2/00 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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