| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG DIELEKTRISCHER FILME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60143541(D1) |
申请公布日期 |
2011.01.05 |
| 申请号 |
DE20016043541 |
申请日期 |
2001.09.19 |
| 申请人 |
MATTSON TECHNOLOGY INC. |
发明人 |
LEVY, SAGY;BLOOM, ROBIN S.;KEPTEN, AVASHAI DR. |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/318;C23C16/02;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/52;C23C16/56;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/469;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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