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发明名称 VERFAHREN ZUR REINIGUNG VON SILICIUMCARBIDSTRUKTUREN
摘要
申请公布号 DE602005024989(D1) 申请公布日期 2011.01.05
申请号 DE200560024989T 申请日期 2005.03.30
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS INC. 发明人 SHIVE, LARRY WAYNE;GILMORE, BRIAN L.
分类号 C04B41/91;C04B41/53;H01L21/00 主分类号 C04B41/91
代理机构 代理人
主权项
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