等离子反应器

摘要

本发明提供了一种等离子化学反应器。所述的反应器包括一个空腔，一个阴极装置和一块挡板。所述的空腔提供了一个等离子反应的空间。所述的阴极装置包括一个阴极支撑杆和一个基托。所述的阴极支撑杆一端与空腔的一个壁面连接，另一端与基托连接。所述的基托用于支撑基板。所述的挡板从外面插入基托并与之连接，挡板上间隔地设有多个穿过挡板的穿孔用来排放反应气体，这些穿孔是不均匀设置的，其中在阴极支撑杆顶侧处的一个穿孔面积要大于远离阴极支撑杆一侧处的一个穿孔面积。

主权项

一种等离子反应器，包括：一个为等离子反应提供空间的空腔；一个阴极装置，它包括一个阴极支撑杆和一个基托，所述的阴极支撑杆一端与空腔的一个壁面连接，另一端与基托连接，所述的基托用于支撑基板，这样便于在空腔内中心的位置处设置一块基板；并且一块挡板从外面插入基托并与之连接，这样将空腔的一个反应空间分隔成上部和下部，挡板上间隔地设有多个穿过挡板的穿孔用来排放反应气体，这些穿孔是不均匀设置的，其中在阴极支撑杆顶侧处的穿孔面积要大于远离阴极支撑杆一侧处的穿孔面积。