发明名称 METHOD FOR PROCESSING A SUBSTRATE, METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR CHIP, AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR CHIP HAVING A RESIN ADHESIVE LAYER
摘要
申请公布号 KR20110000637(A) 申请公布日期 2011.01.04
申请号 KR20107020959 申请日期 2009.03.24
申请人 PANASONIC CORPORATION 发明人 HAJI HIROSHI;ARITA KIYOSHI
分类号 H01L21/50;H01L21/301;H01L21/3065 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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