发明名称 Fremgangsmåde til frembringelse af mikromekaniske anordninger indeholdende et gettermateriale og således frembragte anordninger
摘要
申请公布号 DK1957395(T3) 申请公布日期 2011.01.03
申请号 DK20060832341T 申请日期 2006.11.28
申请人 SAES GETTERS S.P.A. 发明人 RIZZI, ENEA
分类号 B81C99/00 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
主权项
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