| 主权项 |
一种具有多组式晶圆电镀稳压舱的组合改良设备，系利用马达以连接管连接加热器、分流管、电子流量计、手动阀、电镀槽结构体、循环回流管及过滤器所组成的改良设备，其中电镀槽结构体中两侧装设有夹具结构组体、孔状板及注水头组合结构体所组成，其中，夹具结构组体：系以孔状环状板与承载空间体所组成；注水头组合结构体：系由注水管连接注水头相互组成；上述，孔状板连接数组注水头组合结构体电镀液并经过孔状板的孔洞喷向夹具结构组体。如申请专利范围第1项所述之具有多组式晶圆电镀稳压舱的组合改良设备，其中孔状环状板系呈凸体央设一圆孔在圆孔的四周分布多孔环状体，在圆孔至顶部设长方形凹体。如申请专利范围第1项所述之具有多组式晶圆电镀稳压舱的组合改良设备，其中承载空间体系下方为圆型体并形成承载空间而上方连接固定柱，被电镀晶片即置入承载空间内。如申请专利范围第1项所述之具有多组式晶圆电镀稳压舱的组合改良设备，其中孔状环状板与承载空间体相互以锁孔锁住。如申请专利范围第1项所述之具有多组式晶圆电镀稳压舱的组合改良设备，其中孔状板整体呈方形由孔洞至孔洞之间以方形状分布由内向外形成多孔方形体。如申请专利范围第5项所述之具有多组式晶圆电镀稳压舱的组合改良设备，其中孔状板连接注水头组以注水导管导电度液经过注水头流向夹具结构组体，进行晶圆的电镀加工。如申请专利范围第1项所述之具有多组式晶圆电镀稳压舱的组合改良设备，其中电镀槽结构体的底部装设一循环回收管连接一马达，再以连接管连接加热器、分流管、电子流量计、手动阀经过数根注水管及注水头。 |
