高材料利用率之溅镀靶材

主权项

一种高材料利用率之溅镀靶材，其包含：一基板，其为一金属材质之板体；及两轨条，其为金属材质之条状件，其相互间隔且相互平行地设于该基板上，且该轨条之一外侧表面系为一第一溅镀面。如申请专利范围第1项所述之高材料利用率之溅镀靶材，其中进一步包含：两嵌块，其为金属材质之块体，该嵌块分别对应可拆卸地固定于该基板上，对应于该两轨条之间的两端处，且与该轨条接连而形成一围绕一空间的封闭轨道，且该嵌块之一外侧表面系为一第二溅镀面。如申请专利范围第2项所述之高材料利用率之溅镀靶材，其中该基板、该轨条及该嵌块为红铜所制。如申请专利范围第3项所述之高材料利用率之溅镀靶材，其中该基板呈长矩形。