晶圆移转缓冲装置

主权项

一种晶圆移转缓冲装置，系设置于两个晶圆承载装置之输送带间，其中该晶圆移转缓冲装置系包含：一缓冲容置架，其中系包含有一组容置架，该组容置架系跨设于输送带两侧，该组容置架之相对壁面上形成有复数个凹槽，用以提供晶圆置放于所述凹槽形成之至少一容置晶圆空间；以及一驱动机构，系设置于缓冲容置架下方，用以调整高度使输送带通过缓冲容置架不同高度位置。如申请专利范围第b>1/b>项所述之晶圆移转缓冲装置，其中该缓冲容置架之该组容置架设置于一底座上。如申请专利范围第b>1/b>项所述之晶圆移转缓冲装置，其中缓冲容置架之该组容置架设置于一驱动机构上。如申请专利范围第b>1/b>项所述之晶圆移转缓冲装置，其中该容置晶圆空间与底座之间系会形成一通道，用以提供晶圆输送装置通过。如申请专利范围第b>1/b>项所述之晶圆移转缓冲装置，其中该晶圆承载装置系为晶圆片匣、晶圆片盒等用以承载晶圆之容器。如申请专利范围第b>1/b>项所述之晶圆移转缓冲装置，其中该驱动机构系为油压式升降台、液压式升降台等升降装置。