发明名称 |
PELLICLE STORAGE CONTAINER AND METHOD OF MANUFACTURING SAME |
摘要 |
|
申请公布号 |
HK1111230(A1) |
申请公布日期 |
2010.12.31 |
申请号 |
HK20080105759 |
申请日期 |
2008.05.23 |
申请人 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. |
发明人 |
|
分类号 |
B65D;B65D43/06;B65D85/86;G03F1/40;G03F1/64;H01L;H01L21/027 |
主分类号 |
B65D |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|