发明名称 PELLICLE STORAGE CONTAINER AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
摘要
申请公布号 HK1111230(A1) 申请公布日期 2010.12.31
申请号 HK20080105759 申请日期 2008.05.23
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人
分类号 B65D;B65D43/06;B65D85/86;G03F1/40;G03F1/64;H01L;H01L21/027 主分类号 B65D
代理机构 代理人
主权项
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