| 发明名称 |
PROCEDE DE COLLAGE PAR ADHESION MOLECULAIRE. |
| 摘要 |
<p>Procédé de collage par adhésion moléculaire entre au moins une plaque inférieure (20) et une plaque supérieure (30) comprenant le positionnement de la plaque supérieure sur la plaque inférieure. Conformément à l'invention, on applique une force de contact (F) sur le bord périphérique (22, 32) d'au moins une des deux plaques (30, 20) de manière à initier une onde de collage entre les deux plaques.</p> |
| 申请公布号 |
FR2947380(A1) |
申请公布日期 |
2010.12.31 |
| 申请号 |
FR20090054382 |
申请日期 |
2009.06.26 |
| 申请人 |
SOITEC SILICON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
LAGAHE BLANCHARD CHRYSTELLE;BROEKAART MARCEL;CASTEX ARNAUD |
| 分类号 |
H01L21/762;B32B7/10;F16B11/00;H01L21/67;H01L27/146 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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