发明名称 EPITAXIAL GROWTH ON LOW DEGREE OFF-AXIS SILICON CARBIDE SUBSTRATES AND SEMICONDUCTOR DEVICES MADE THEREBY
摘要
申请公布号 KR20100139068(A) 申请公布日期 2010.12.31
申请号 KR20107023746 申请日期 2009.03.12
申请人 SEMISOUTH LABORATORIES, INC. 发明人 ZHANG JIE
分类号 C30B23/06;C30B29/36;H01L21/20 主分类号 C30B23/06
代理机构 代理人
主权项
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