发明名称 |
EPITAXIAL GROWTH ON LOW DEGREE OFF-AXIS SILICON CARBIDE SUBSTRATES AND SEMICONDUCTOR DEVICES MADE THEREBY |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20100139068(A) |
申请公布日期 |
2010.12.31 |
申请号 |
KR20107023746 |
申请日期 |
2009.03.12 |
申请人 |
SEMISOUTH LABORATORIES, INC. |
发明人 |
ZHANG JIE |
分类号 |
C30B23/06;C30B29/36;H01L21/20 |
主分类号 |
C30B23/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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