METHOD FOR REDUCING CRITICAL DIMENSIONS USING MULTIPLE MASKING STEPS,申请号IL20070184855-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR REDUCING CRITICAL DIMENSIONS USING MULTIPLE MASKING STEPS
摘要
申请公布号	IL184855(A)	申请公布日期	2010.12.30
申请号	IL20070184855	申请日期	2007.07.26
申请人	LAM RESEARCH CORPORATION;JEFFREY MARKS;S.M. REZA SADJADI	发明人	JEFFREY MARKS;S.M. REZA SADJADI
分类号		主分类号
代理机构		代理人
主权项
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