发明名称 VERRINGERUNG VON KAROTTENDEFEKTEN BEI DER SILICIUMCARBID-EPITAXIE
摘要
申请公布号 DE602004030161(D1) 申请公布日期 2010.12.30
申请号 DE200460030161T 申请日期 2004.11.18
申请人 CREE INC. 发明人 O'LOUGHLIN, MICHAEL JOHN;SUMAKERIS, JOSEPH JOHN
分类号 C30B29/36;C30B25/02;H01L21/302 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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