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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer unpolaren einkristtrid-Halbleiter
摘要
申请公布号 DE602005024742(D1) 申请公布日期 2010.12.30
申请号 DE200560024742T 申请日期 2005.05.04
申请人 SAMSUNG CORNING PRECISION MATERIALS CO. LTD. 发明人 SHIN, HYUN-MIN;LEE, HAE-YONG;LEE, CHANGHO;KIM, HYUN-SUK;KIM, CHONG-DON;KONG, SUN-HWAN
分类号 C30B29/38;C30B29/40;C23C16/34;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/205 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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