| 发明名称 |
HYBRIDSTRAHL-BESCHICHTUNGSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ZNO-SCHICHTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60334998(D1) |
申请公布日期 |
2010.12.30 |
| 申请号 |
DE2003634998 |
申请日期 |
2003.08.27 |
| 申请人 |
MOXTRONICS INC. |
发明人 |
WHITE, HENRY W.;RYU, YUNGRYEL;LEE, TAE-SEOK |
| 分类号 |
C23C14/28;C30B23/08;C23C14/00;C23C14/08;C30B23/02;C30B25/02;C30B25/10;C30B29/16;C30B35/00;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/363;H01L21/443;H01L29/205;H01L29/267;H01L31/04;H01L33/00 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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