发明名称 |
用于高温、窄缝条件下金属间隙、缺陷检测的涡流传感器 |
摘要 |
本发明的用于窄缝、高温条件下的电涡流传感器,属于检测技术领域。该方法包括以下步骤:(1)采用UV-LIGA(紫外光刻电铸)技术制作了微米尺度平面线圈1;(2)采用电铸制造工艺制作了镍铁合金铁芯3;(3)提出了两层微平面线圈与磁芯相叠加的电涡流传感器结构。本发明具有结构简单,应用灵活,能实现窄缝、高温条件下金属材料间隙、缺陷的检测。 |
申请公布号 |
CN101929833A |
申请公布日期 |
2010.12.29 |
申请号 |
CN200910033649.2 |
申请日期 |
2009.06.25 |
申请人 |
淮阴工学院 |
发明人 |
郑晓虎;刘远伟 |
分类号 |
G01B7/14(2006.01)I;G01N27/90(2006.01)I;G01H11/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01B7/14(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种用于高温、窄缝条件下金属间隙、缺陷检测的涡流传感器,其特征包括:(1)、采用UV LIGA(紫外光刻电铸)技术制作了微米尺度平面线圈1;(2)、采用电铸制造工艺制作了镍铁合金铁芯3;(3)、提出了两层微平面线圈与磁芯相叠加的电涡流传感器结构。 |
地址 |
223003 江苏省淮安市枚乘路1号 |