发明名称 用于高温、窄缝条件下金属间隙、缺陷检测的涡流传感器
摘要 本发明的用于窄缝、高温条件下的电涡流传感器,属于检测技术领域。该方法包括以下步骤:(1)采用UV-LIGA(紫外光刻电铸)技术制作了微米尺度平面线圈1;(2)采用电铸制造工艺制作了镍铁合金铁芯3;(3)提出了两层微平面线圈与磁芯相叠加的电涡流传感器结构。本发明具有结构简单,应用灵活,能实现窄缝、高温条件下金属材料间隙、缺陷的检测。
申请公布号 CN101929833A 申请公布日期 2010.12.29
申请号 CN200910033649.2 申请日期 2009.06.25
申请人 淮阴工学院 发明人 郑晓虎;刘远伟
分类号 G01B7/14(2006.01)I;G01N27/90(2006.01)I;G01H11/00(2006.01)I 主分类号 G01B7/14(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种用于高温、窄缝条件下金属间隙、缺陷检测的涡流传感器,其特征包括:(1)、采用UV LIGA(紫外光刻电铸)技术制作了微米尺度平面线圈1;(2)、采用电铸制造工艺制作了镍铁合金铁芯3;(3)、提出了两层微平面线圈与磁芯相叠加的电涡流传感器结构。
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