发明名称 真空镀膜机
摘要 一种真空镀膜机,其包括装载腔室、镀膜腔室及卸载腔室,镀膜腔室两端具有入料口及出料口。装载腔室与入料口连接,装载腔室内设装载架、第一驱动机构及传输装置。装载架承载多个水平放置的相互平行排列的载盘,第一驱动机构固定于装载腔室内,第一驱动机构与装载架相连接,并驱动装载架做下降运动,且能够将各载盘对准入料口,传输装置将对准入料口的载盘运入入料口。卸载腔室与出料口连接,卸载腔室内设卸载架及第二驱动机构。卸载架用于将从出料口出来的多个载盘按层水平排列,第二驱动机构固定于卸载腔室内,第二驱动机构与卸载架相连接,并驱动卸载架做上升运动。该发明的真空镀膜机在装载及卸载时均批量进行,可有效减少人力及提高生产效率。
申请公布号 CN101928930A 申请公布日期 2010.12.29
申请号 CN200910303404.7 申请日期 2009.06.18
申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 发明人 蔡泰生
分类号 C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I 主分类号 C23C14/56(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种真空镀膜机,其包括镀膜腔室,所述镀膜腔室两端具有入料口及出料口,其特征在于,所述真空镀膜机还包括装载腔室及卸载腔室,所述装载腔室与所述入料口连接,所述装载腔室内设有装载架、第一驱动机构及传输装置,所述装载架承载多个水平放置的相互平行排列的载盘,所述第一驱动机构固定于所述装载腔室内,所述第一驱动机构与所述装载架相连接,并驱动所述装载架做下降运动,且能够将各载盘对准所述入料口,所述传输装置用于将对准所述入料口的载盘运入所述入料口,所述卸载腔室与所述出料口连接,所述卸载腔室内设有卸载架及第二驱动机构,所述卸载架用于将从所述出料口出来的多个载盘按层水平排列,所述第二驱动机构固定于所述卸载腔室内,所述第二驱动机构与所述卸载架相连接,并驱动所述卸载架做上升运动。
地址 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号