多晶硅还原炉高压启动装置

摘要

一种多晶硅还原炉高压启动装置，用于西门子法生产多晶硅的硅棒击穿、预加热阶段，包括饱和电抗器、变压器、倒级开关及检测装置和控制器，检测装置包括变压器原边电压检测装置、变压器原边电流检测装置、硅棒电流检测装置；控制器包括：饱和电抗器控制模块，用于控制饱和电抗器的电感值；倒级开关控制模块，用于控制倒级开关分接位置；存储模块，用于存储检测信号数据、硅棒加热温度数学模型等；计算模块，用于将检测信号数据与硅棒加热温度数学模型进行比较，计算控制信号的值；输出模块，用于将控制信号输送到各被控对象的控制模块。该装置自动控制硅棒击穿、预加热过程的升温速率，对硅棒加热功率无级连续调节，精度高，不会发生瞬时超温的现象。

主权项

一种多晶硅还原炉高压启动装置，其特征在于，包括顺序连接的饱和电抗器、变压器、倒级开关；以及变压器原边电压检测装置、变压器原边电流检测装置、硅棒电流检测装置；以及中央控制器，所述变压器原边电压检测装置、变压器原边电流检测装置、硅棒电流检测装置的输出信号送入中央控制器，由中央控制器处理后，向饱和电抗器、倒级开关输出控制信号；该中央控制器具有如下功能模块：数据采集模块，用于采集检测信号数据；饱和电抗器控制模块，用于控制饱和电抗器的电感值；倒级开关控制模块，用于控制倒级开关的分接位置；存储模块，用于存储检测信号数据、硅棒加热温度数学模型、控制信号数据；计算模块，用于将检测信号数据与硅棒加热温度数学模型进行比较，计算控制信号的值；输出模块，用于将控制信号输送到各被控对象的控制模块。