具有高空间分辨力的乘积共焦扫描检测方法

摘要

本发明属于表面微细结构和生物显微成像测量技术领域，涉及一种具有高空间分辨率的乘积共焦扫描检测方法。该方法采用差动共焦双接收光路布置中双偏置探测器的离焦信号相乘形成乘积共焦信号，对被测样品进行测量、成像，通过两个偏置信号的乘积同时提高共焦显微探测方法的纵向和横向分辨力，从而实现乘积共焦方法的高空间分辨力检测。该方法还可以结合光学超分辨共焦检测方法，进一步提高空间分辨力。该方法可以满足高空间分辨力、高精度测量成像要求，特别适用于表面三维微细结构、微台阶、线宽、表面形貌等的测量以及高精度的生物成像检测等。

主权项

具有高空间分辨力的乘积共焦扫描检测方法，采用差动共焦显微术的双接收光路布置和双探测器乘积探测对被测样品进行扫描测量，入射光束经偏振分光镜、1/4波片、测量物镜入射到被测样品上，经被测样品反射后，再次经过测量物镜、1/4波片后入射到偏振分光镜，经偏振分光镜反射的光束被分光镜分为两路，一路被聚光镜聚焦，针孔位于聚光镜焦前距离M处，探测器位于针孔后并测得反应被测样品凸凹变化的强度曲线I1(v，u，uM)，另一路被另一聚光镜聚焦，另一针孔位于另一聚光镜焦后距离M处，另一探测器位于另一针孔后并测得反应被测样品凸凹变化的强度曲线I2(v，u， uM)，其中，M对应的归一化轴向距离为uM，u为轴向归一化光学坐标，v为横向归一化光学坐标，uM为归一化轴向距离，其特征在于：(1)将I1(v，u，uM)和I2(v，u， uM)相乘并进行归一化处理，得到对应被测样品凸凹变化的强度曲线IMCM(v，u，uM)；(2)依据曲线IMCM(v，u，uM)在线性区间内的强度大小，或依据曲线IMCM(v，u，uM)强度最大值的位置，重构出被测样品的表面形貌和微观尺度。