| 发明名称 | 光致酸产生剂和其光致抗蚀剂 | ||
| 摘要 | 本发明涉及新的光致酸产生剂化合物以及包含该化合物的光致抗蚀剂组合物。特别的，本发明涉及包含多环内酯部分的光致酸产生剂化合物。提供了一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包含：树脂粘合剂和包含多环内酯基团的光致酸产生剂化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN101930173A | 申请公布日期 | 2010.12.29 |
| 申请号 | CN201010256806.9 | 申请日期 | 2010.06.22 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | 李明琦;C·-B·徐;E·阿恰达;刘骢 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包含：树脂粘合剂和包含多环内酯基团的光致酸产生剂化合物。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||