可调节式真空限流阀

摘要

本实用新型属于流体阀门技术领域，尤其涉及一种可调节式真空限流阀。用运于真空腔室和真空泵系统之间的限流阀，对真空系统的泵系统和真空腔的抽速进行限制。该限流阀包括由厚壁法兰、步进电机、电机驱动器、主轴、横向支杆和转板组成。其中，厚壁法兰的一侧安装步进电机和电机驱动器，步进电机和电机驱动器通过支杆和螺母进行固定；步进电机通过螺钉与主轴固接，主轴通过凸块与横向支杆和横向支杆轴连接，凸块由螺钉固定，横向支杆和横向支杆轴分别由螺钉和螺母固定，转板通过拉板、转轴和螺钉与横向支杆固接。本实用新型的有意效果是：该限流阀的结构合理，既能达到稳定抽速的作用，又具有体积精巧，成本低和使用寿命长。

主权项

一种可调节式真空限流阀，包括厚壁法兰(1)，电机驱动器(3)和步进电机(2)、主轴(4)、调节装置和转板(18)组成，其特征在于，所述电机驱动器(3)和所述步进电机(2)通过螺丝固接，安装在所述厚壁法兰(1)的一侧，所述步进电机(2)与所述主轴(4)固接，所述主轴(4)通过凸块与所述调节装置连接，所述转板(18)通过两端部的轴固定在所述厚壁法兰(1)内壁上，所述转板(18)通过拉板(26)、转轴(27)和螺钉(28)与所述调节装置固接。