发明名称 加速度传感器
摘要 本发明所提出的加速度传感器(1),具有悬臂梁结构,包括了以其固定端(221)为中心作往复弹性变形运动的悬臂(22)和、在悬臂(22)的自由端(222)上设置的磁铁体(21a(b))、以及在悬臂(22)的往复动作领域的外周面上配置了磁性检出头部(23(b))的加速度检测单元(2a(b))。并且,本发明所提出的加速度传感器(1),为了补正磁性检出头部(23a)、(23b)输出的检出信号,配备了分别检测作用于磁性检出头部(23a)、(23b)和磁铁体(21a)、(21b)的周边外界磁场的周边外界磁场检出部(43a)、(43b)。
申请公布号 CN1938593B 申请公布日期 2010.12.29
申请号 CN200580009428.1 申请日期 2005.04.28
申请人 爱知制钢株式会社 发明人 本藏义信;山本道治;幸谷吉晃;森正树;加古英儿;玄番弘荣;浅野巧;石川尚树
分类号 G01P15/105(2006.01)I;G01P15/18(2006.01)I 主分类号 G01P15/105(2006.01)I
代理机构 上海市华诚律师事务所 31210 代理人 徐申民
主权项 一种加速度传感器,其特征在于,具有悬臂梁结构,包含了以固定于设置在基板上的支持部件上的固定端为中心作往复弹性变形运动的悬臂和、配置在该悬臂自由端上的磁铁体、以及配置在上述悬臂的往复动作领域的外周一侧的包括磁性检出头部在内的加速度检测单元;为了补正上述磁性检出头部输出的检出信号中的误差成分,进一步配备了检测作用于上述磁性检出头部和上述磁铁体的周边外界磁场的电压成分Vm的周边外界磁场检出部,其中上述磁性检出头部的输出电压Vh、作用的加速度为起因的电压成分Va、检出的包括地磁的周边外界磁场的电压成分Vm和周边外界磁场作用的转矩在上述磁铁体上产生的位移为起因的电压成分Vt之间的关系是Vh=Va+Vm+Vt;其中,上述磁性检出头部及上述周边外界磁场检出部,包含了与作用磁场的大小相对应、其特性产生变化的感磁体和旋绕在该感磁体外周面的电磁线圈,当通向上述感磁体的通电电流产生变化时,在上述电磁线圈两端产生与上述磁场的大小相对应的电位差;以及进一步具有从上述磁性检出头部输出电压中减算上述周边外界磁场检出部输出电压的减算回路。
地址 日本国爱知县