一种单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构

摘要

本发明涉及坩埚法生长晶体炉子装置的改进机构，一种单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构，所述支撑脚为上、下两段圆柱段组成，上段为石墨段(9a)，且上表面开设轴向的定位销孔，下段为绝热段(9b)，且下表面轴向开设金属电极孔。所述上、下两段之间以台阶结构连接。所述绝热段的垂直中心剖面呈U字状，外侧近似L的为硬质支撑裹圈(9b1)，为一圆柱形固化毡垫圈(9b2)。所述绝热段(9b)采用氧化锆、氧化铝、氮化铝、石英。或梯度密度碳碳复合材料。采用本发明既不影响在原先位置的安装，结构稳定、通用，支撑脚隔绝了加热器通过支撑脚对外传出的热量，节约了设备运行需要的耗电量，节电达10％以上，经济效益非常巨大。

主权项

一种单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构，其特征在于：所述支撑脚为上、下两段圆柱段组成，上段为石墨段(9a)，且上表面开设轴向的定位销孔，下段为绝热段(9b)，且下表面轴向开设金属电极孔。