发明名称 |
多通道光谱量测装置与相位差解析方法 |
摘要 |
本发明利用一多通道光谱量测装置,其利用多通道影像光谱仪结合光纤数组式的偏振光束控制探头,达到同时多个待测样品点的量测。偏振光束收光探头的设计上,利用偏振分光镜同时将接收的偏振光束分成垂直及水平偏振态光束,并分别由两组聚焦透镜收光至光纤数组式的多通道影像光谱仪,以此可以在不需转动收光偏振控制探头情况下,根据能量损失校正参数与量测偏振光的P波与S波偏振光分量快速计算得到垂直及水平偏振态光束的强度归一化光谱讯号,并通过数学运算求解得到相位差参数信息。 |
申请公布号 |
CN101435928B |
申请公布日期 |
2010.12.29 |
申请号 |
CN200710188707.X |
申请日期 |
2007.11.15 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
刘志祥;庄凯评;林友崧 |
分类号 |
G02F1/13(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/13(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
周长兴 |
主权项 |
1.一种相位差解析方法,其包括有下列步骤:使一偏振光束的P波与S波偏振分光量相同;在未放入待测物的情况下改变该偏振光束的偏振角度,以量测其P波与S波偏振分光量;以及根据量测到的P波与S波偏振分光量决定该光束能量损失校正参数,该参数为(S<sub>1P</sub>/S<sub>1S</sub>)与(S<sub>1S</sub>/S<sub>1P</sub>),其中S<sub>1S</sub>表示S波偏振光束的光谱强度,S<sub>1P</sub>表示P波偏振光束的光谱强度;调制该偏振光束以形成一第一偏振光;使第一偏振光的偏振角度与待测物的光轴相差一角度,并调整通过一待测物的该第一偏振光的偏振角度以形成一第二偏振光,并侦测该第二偏振光的P波与S波偏振分光量,对于该第二偏振光,P波偏振光的穿透光谱强度为S<sub>2P</sub>,S波偏振光的穿透光谱强度为S<sub>2S</sub>;以及根据该第二偏振光的P波与S波偏振分光量以及能量损失校正参数计算P波和S波归一化光谱强度分布,具体为:<img file="FSB00000254744200011.GIF" wi="497" he="202" /><img file="FSB00000254744200012.GIF" wi="472" he="187" />其中λ为光谱的波长; 根据该归一化光谱强度分布,求得一相位差分布。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |