安放用于随机掩模版图的印刷辅助图形的方法和系统

摘要

本发明涉及安放用于随机掩模版图的印刷辅助图形的方法和系统。本发明的实施例提供了一种在掩模版图中安放印刷辅助图形的方法。该方法包括：提供具有一个或多个设计图形的设计版图；产生一组参数，该参数组与一个或多个印刷辅助图形(PrAF)相关联；将该参数组的该一个或多个PrAF添加到设计版图以产生修改的设计版图；对该修改的设计版图执行该一个或多个PrAF以及该一个或多个设计图形的仿真；基于该仿真的结果验证该一个或多个PrAF是否是可移除的；以及如果该一个或多个PrAF被验证为是可移除的，则基于该参数组生成一组PrAF安放规则。该PrAF安放规则组可用于生成一组最终的用以生成掩模版图的PrAF图形。

主权项

一种在掩模版图中安放印刷辅助图形的方法，所述方法包括：提供具有一个或多个设计图形的设计版图；产生一组参数，所述参数组与一个或多个印刷辅助图形PrAF相关联；将所述参数组的所述一个或多个PrAF添加到所述设计版图以产生修改的设计版图；对所述修改的设计版图执行所述一个或多个PrAF以及所述一个或多个设计图形的仿真；基于所述仿真的结果验证所述一个或多个PrAF是否是可移除的；以及如果所述一个或多个PrAF被验证为是可移除的，则基于所述参数组生成一组PrAF安放规则。