发明名称 生长P型SiC半导体单晶的方法和P型SiC半导体单晶
摘要 在使p型SiC半导体单晶在SiC单晶基底上生长的方法中,使用其中C溶解在Si熔体中的第一溶液,将Al和N添加到所述第一溶液中,使得添加的Al的量大于添加的N的量,由此制备第二溶液,并由所述第二溶液在SiC单晶基底上生长所述p型SiC半导体单晶。提供了通过上述方法生长的p型SiC半导体单晶,其含有1×1020cm-3的Al和2×1018至7×1018cm-3的N作为杂质。
申请公布号 CN101932757A 申请公布日期 2010.12.29
申请号 CN200980103467.6 申请日期 2009.01.28
申请人 丰田自动车株式会社 发明人 关章宪;藤原靖幸
分类号 C30B29/36(2006.01)I;C30B19/00(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 主分类号 C30B29/36(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 林柏楠;彭飞
主权项 一种在SiC单晶基底上生长p型SiC半导体单晶的方法,该方法使用其中C溶解在Si熔体中的第一溶液,包括:将Al和N添加到所述第一溶液中,使得添加的Al的量大于添加的N的量,由此制备第二溶液;和由所述第二溶液在SiC单晶基底上生长所述p型SiC半导体单晶。
地址 日本爱知县
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