发明名称 |
生长P型SiC半导体单晶的方法和P型SiC半导体单晶 |
摘要 |
在使p型SiC半导体单晶在SiC单晶基底上生长的方法中,使用其中C溶解在Si熔体中的第一溶液,将Al和N添加到所述第一溶液中,使得添加的Al的量大于添加的N的量,由此制备第二溶液,并由所述第二溶液在SiC单晶基底上生长所述p型SiC半导体单晶。提供了通过上述方法生长的p型SiC半导体单晶,其含有1×1020cm-3的Al和2×1018至7×1018cm-3的N作为杂质。 |
申请公布号 |
CN101932757A |
申请公布日期 |
2010.12.29 |
申请号 |
CN200980103467.6 |
申请日期 |
2009.01.28 |
申请人 |
丰田自动车株式会社 |
发明人 |
关章宪;藤原靖幸 |
分类号 |
C30B29/36(2006.01)I;C30B19/00(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/36(2006.01)I |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 11247 |
代理人 |
林柏楠;彭飞 |
主权项 |
一种在SiC单晶基底上生长p型SiC半导体单晶的方法,该方法使用其中C溶解在Si熔体中的第一溶液,包括:将Al和N添加到所述第一溶液中,使得添加的Al的量大于添加的N的量,由此制备第二溶液;和由所述第二溶液在SiC单晶基底上生长所述p型SiC半导体单晶。 |
地址 |
日本爱知县 |