静电悬浮电晕驱动旋转微陀螺

摘要

本发明涉及一种利用静电悬浮电晕驱动旋转的微陀螺，本发明包括上下定子、微转子、周边结构构成一个笼式结构，转子置于这个笼式结构的中间。定子包括旋轴向悬浮和检测电极、公共电极。定子固联在衬底上。由于静电力的作用，微转子悬浮在上下定子之间。微转子成圆环形，内侧为齿形电极，外侧均布置有周围结构，周围结构为径向悬浮检测电极。本发明结构简单，提出电晕驱动旋转结构，不需要在定子上设置旋转电极，不需转速检测既可实现转子恒高速转动。通过轴向和径向悬浮检测电极可以实现转子的悬浮控制和实现位置检测。这个器件采用MEMS微加工技术制成，易于实施。具有尺寸小，重量轻，成本低，精度高，低功耗的特点。

主权项

一种静电悬浮电晕驱动旋转微转动陀螺，包括：上定子、下定子、环形转子、周边结构，其特征在于：上定子、下定子和周边结构相连构成一个笼式结构，环形转子置于这个笼式结构的中间，齿形电极位于环形转子的内侧，环形转子与齿形电极之间有间隔，上定子包括上定子公共电极，上定子轴向检测和悬浮电极，上定子轴向检测和悬浮电极的外径等于环形转子的最大外径，上定子公共电极的最大外径小于上定子轴向悬浮和检测电极的最小内径，上定子轴向检测和悬浮电极均匀分布在以上定子中心为圆心的圆上，上定子和下定子结构相同，上定子面向转子朝下，下定子面向转子朝上，在空间上是垂直对应的；所述的环形转子是一种圆环形结构，包括：绝缘结构和支撑结构，绝缘结构和支撑结构均为环形结构，支撑结构位于绝缘结构的外侧；所述的周边结构是一个圆环式结构，包括八个径向悬浮检测电极，这八个径向电极板均匀的分布在以环形转子中心为圆心的圆上，且彼此间隔相等。