一种真空紫外平板光源

摘要

本发明公开了一种真空紫外平板光源，包括前基板和后基板，前后基板由石英玻璃制成，在前基板与后基板之间设有放电腔体，在前基板上设置成对的平行电极，采用表面放电，或在前后基板设置电极，采用对向式放电方式，在电极表面上还设有介质层，在介质层上设有保护膜，放电腔体充入一定气压的工作气体，可以由Ne和Xe气的混合气体构成，在电极间施加交流脉冲，工作气体放电，在维持电流脉冲的作用下，持续产生147nm和172nm的真空紫外光，通过石英基板出射到光源外面需要处理的表面上。本发明可以产生真空紫外光的面光源，对大面积处理表面具有优越性。可以实现单面和双面真空紫外平板光源，适合不同的应用场合。

主权项

一种真空紫外平板光源，其特征在于包括前基板和后基板，前后基板由石英玻璃制成，在前基板与后基板之间设有放电腔体，采用表面放电方式，在前基板上设置成对的平行电极，并位于所述的放电腔体内，在前基板上还设有介质层，所述成对电极位于前基板与介质层之间，在介质层上设有保护膜，放电腔体充入工作气体，所述工作气体由Ne和Xe气的混合气体构成，Xe气的比例高于或等于20％，或者由纯Xe气构成，工作气体的气压为400～700Torr，在成对的平行电极间施加交流脉冲，当幅值超过工作气体的着火电压，工作气体放电，在维持电流脉冲的作用下，持续产生147nm和172nm的真空紫外光，通过石英基板出射到光源外面需要处理的表面上。