一种测量激光等离子体的光谱仪

摘要

一种测量激光等离子体的光谱仪，其测量仪器包括激光器、透镜、烧蚀室、靶、透镜组、单色仪、Boxcar平均器、光信号触发器构成。其特征是测量激光与材料作用时产生的激光等离子体光谱，使光信号与电信号同步。发射光谱强度的时间分辨测定是通过某些特定波长的发射谱线，此时单色仪固定在某一波长上，沿着靶的法线方向移动单色仪，每一特定位置上的光强又用瞬态记录仪进行时间分辨测定。用F900eV数据采集板记录，它能够直接储存与多次平均所采集的信号，解决了测量等离子体的发光光谱问题。本实用新型具有使用范围广、精确度高的优点，具有广阔地应用前景。

主权项

一种测量激光等离子体的光谱仪，其特征是此光谱仪包含机械构件、光学元件和电子元件，此仪器由激光器(1)、透镜(2)、烧蚀室(3)、靶(4)、透镜组(5)、单色仪(6)、Boxcar平均器(7)、光信号触发器(8)、气压表(9)构成。