六自由度精密定位平台

摘要

本发明提供一种六自由度精密定位平台，用以承载并在六个自由度上调节吸版台的位置。六自由度精密定位平台包括水平调节平台和垂向调节平台。水平调节平台用以在X轴、Y轴、θz轴方向调节吸版台的位置，包括水平输出平台，与该吸版台固定连接，用以承载该吸版台；沿圆周平均分布的三组旋转副柔性铰链机构；通过这些旋转副柔性铰链机构与水平输出平台连接的水平基座。垂向调节平台包括三组调节机构，沿圆周平均分布，用以在Z轴、θx轴、θy轴方向调整吸版台的位置。本发明中的水平调节平台和垂向调节平台之间仅通过楔形机构和垂向柔性簧片连接，使得整个定位平台结构简单，降低了制造难度，提高了装配精度。

主权项

一种六自由度精密定位平台，用以承载物体并实现六个自由度调节，包括：水平调节平台，包括：水平输出平台，用以承载物体；沿圆周平均分布的三组旋转副柔性铰链机构；以及水平基座，通过所述旋转副柔性铰链机构与水平输出平台连接；垂向调节平台，包括三组沿圆周平均分布的调节机构，其特征在于，所述调节机构包括：垂向驱动器，用以沿水平方向驱动楔形块；楔形块，受所述垂向驱动器驱动在所述水平基座上滑动，用以实现将水平方向上的位移转化为垂直方向上的位移，所述楔形块具有第一斜面，该第一斜面与水平线的夹角为45°；垂向柔性簧片，用以引导楔形块沿垂直方向移动，所述垂向柔性簧片第一端与水平基座刚性连接，第二端与底座刚性连接，在该第一端与第二端之间包括水平放置的簧片；所述垂向柔性簧片第一端具有45°的第二斜面，与楔形块的第一斜面接触；以及底座，用以承载所述垂向调节平台。