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经营范围
发明名称
ANISOTROPIC ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
EP1096553(B1)
申请公布日期
2010.12.29
申请号
EP19990925400
申请日期
1999.06.22
申请人
MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORPORATION
发明人
OI, HIROYUKI
分类号
H01L21/306;H01L21/00;H01L21/02
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
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