Capacitive pressure measuring device and its manufacturing method

摘要

Die Erfindung betrifft eine Druckmessvorrichtung mit einem Gehäuse (10h) mit mindestens einer zumindest teilweise aus einem isolierenden Material hergestellten Trennwand (42a), welche ein Innenvolumen des Gehäuses (10h) mindestens in eine Messkammer (20) und in eine Isolierkammer (22) unterteilt; mindestens einem in der Messkammer (20) angeordneten Schwingkreis mit einem Kondensator (36) mit einer druckabhängigen Kapazität; einer in der Isolierkammer (22) angeordneten Auswerteschaltung (24); und einer mittels eines leitfähigen Kontaktelements an die Auswerteschaltung (24) gekoppelten Primärspulc (26), wobei die Auswerteschaltung (24) dazu ausgelegt ist, mittels einer Bestromung der Primärspule (26) den Schwingkreis in der Messkammer (20) anzuregen und eine von der druckabhängigen Kapazität abhängige Resonanzfrequenz des Schwingkreises zu ermitteln und bereitzustellen, so dass der Druck in der Messkammer (20) mittels einer Auswertung der von der druckabhängigen Kapazität abhängigen Resonanzfrequenz des Schwingkreises ermittelbar ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für eine derartige Druckmessvorrichtung.