发明名称 SUBSTRATE POLISHING APPARATUS AND METHOD OF POLISHING SUBSTRATE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR101004436(B1) 申请公布日期 2010.12.28
申请号 KR20080119947 申请日期 2008.11.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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