发明名称 WATER-REACTIVE AL COMPOSITE MATERIAL, WATER-REACTIVE AL FILM, METHOD FOR PRODUCTION OF THE AL FILM, AND STRUCTURAL MEMBER FOR FILM-FORMING CHAMBER
摘要
申请公布号 KR20100136559(A) 申请公布日期 2010.12.28
申请号 KR20107026606 申请日期 2009.04.27
申请人 ULVAC, INC. 发明人 KADOWAKI YUTAKA;SAITOU TOMOKO;LIM KENG WENG;MUSHIAKE KATSUHIKO
分类号 C22C21/00;C23C4/06;C23C14/54;C23C16/44 主分类号 C22C21/00
代理机构 代理人
主权项
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