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发明名称 PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR101004365(B1) 申请公布日期 2010.12.28
申请号 KR20080115648 申请日期 2008.11.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/205;H01L21/677;H01L21/683 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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