| 摘要 |
Нанотехнологическое устройство перемещения, содержащее неподвижную платформу, жестко связанный с ней пьезопривод, на торце которого закреплен зонд с возможностью электрического взаимодействия с подложкой, установленной на подложкодержателе, отличающееся тем, что на торце зонда жестко установлена биметаллическая пластина, на конце которой закреплено острие. |
