发明名称 Apparatus for processing a substrate
摘要
申请公布号 KR101004090(B1) 申请公布日期 2010.12.27
申请号 KR20080085783 申请日期 2008.09.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址