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发明名称 A PROCESS FOR SHRINKING DIMENSIONS BETWEEN PHOTORESIST PATTERN COMPRISING A PATTERN HARDENING STEP
摘要
申请公布号 KR20100135775(A) 申请公布日期 2010.12.27
申请号 KR20107022057 申请日期 2009.03.30
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 ABDALLAH DAVID J.;DAMMEL RALPH R.;MONREAL VICTOR
分类号 G03F7/40;G03F7/00 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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