发明名称
摘要
申请公布号 JP2010541210(A) 申请公布日期 2010.12.24
申请号 JP20100525965 申请日期 2008.09.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;B23K15/00;B23K15/06;B23K20/00;B23K20/14;B23K20/24;H01L21/265;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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