发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 KR101004192(B1) 申请公布日期 2010.12.24
申请号 KR20097014512 申请日期 2002.02.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;H01J37/32;H01L21/285 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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