| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCTION OF WATER-REACTIVE AL FILM AND CONSTITUENT MEMBERS FOR FILM DEPOSITION CHAMBERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100135323(A) |
申请公布日期 |
2010.12.24 |
| 申请号 |
KR20107026608 |
申请日期 |
2009.04.27 |
| 申请人 |
ULVAC, INC. |
发明人 |
KADOWAKI YUTAKA;SAITOU TOMOKO;LIM KENG WENG;MUSHIAKE KATSUHIKO |
| 分类号 |
C23C4/06;C22C21/00;C23C14/00;C23C16/44 |
主分类号 |
C23C4/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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