湿式工程用基板の消泡装置

摘要

【課題】 特に泡を除去して化学薬液を再利用することができると共に、基板の加工技術も高めることができる湿式工程用基板の消泡装置を提供する。【解決手段】 気泡濾過容器を備え、該気泡濾過容器は、内部に設置される濾過綿材と、内部を該濾過綿材により区画された上部空間及び下部空間と、上部に形成されると共に、該上部空間と連通する液体吸い取り口と、下部に形成されると共に、該下部空間と連通する液体送出口とを備えるものである。【選択図】 図１