| 发明名称 |
COMPOSITION FOR MANUFACTURING SIO2 RESIST LAYERS AND METHOD OF ITS USE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100135276(A) |
申请公布日期 |
2010.12.24 |
| 申请号 |
KR20107023751 |
申请日期 |
2009.03.02 |
| 申请人 |
MERCK PATENT GMBH |
发明人 |
STOCKUM WERNER;KOEHLER INGO;MEIJER ARJAN;BROOKES PAUL CRAIG;PATTERSON KATIE;JAMES MARK |
| 分类号 |
C23C18/12;C23C18/16;H01L21/288 |
主分类号 |
C23C18/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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